[发明专利]热场温度均匀的多晶硅铸锭炉复合保温结构

摘要

本发明公开了一种热场温度均匀的多晶硅铸锭炉复合保温结构，解决了现有的多晶硅铸锭炉保温结构的热场温度均匀性差导致热能量损失仍高的问题。在空心层（9）中设置有镜面高温钼屏（3），在镜面高温钼屏（3）上设置有碳碳螺杆穿过孔（10），碳碳螺杆（2）依次穿过碳纤维外保温层（1）、镜面高温钼屏（3）上设置的碳碳螺杆穿过孔（10）和碳纤维内保温层（4）后与碳碳螺母（5）连接在一起，在碳碳螺杆穿过孔（10）外侧的碳碳螺杆（2）上设置有镜面高温钼屏的外侧氮化硼固定件（7），在碳碳螺杆穿过孔（10）内侧的碳碳螺杆（2）上设置有镜面高温钼屏的内侧氮化硼固定件（11）。有效降低生产过程中的能耗。

主权项

一种热场温度均匀的多晶硅铸锭炉复合保温结构，包括铸锭炉内的碳纤维外保温层（1）、碳纤维内保温层（4）和铸锭炉加热器（8），在碳纤维外保温层（1）与碳纤维内保温层（4）之间设置有空心层（9），其特征在于，在空心层（9）中设置有镜面高温钼屏（3），在镜面高温钼屏（3）上设置有碳碳螺杆穿过孔（10），碳碳螺杆（2）依次穿过碳纤维外保温层（1）、镜面高温钼屏（3）上设置的碳碳螺杆穿过孔（10）和碳纤维内保温层（4）后与碳碳螺母（5）连接在一起，在碳碳螺杆穿过孔（10）外侧的碳碳螺杆（2）上设置有镜面高温钼屏的外侧氮化硼固定件（7），在碳碳螺杆穿过孔（10）内侧的碳碳螺杆（2）上设置有镜面高温钼屏的内侧氮化硼固定件（11）。