[发明专利]一种阻尼可调的精密直驱气浮平台有效
| 申请号： | 201710809671.6 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN107598869B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 陈东生;张连新;阳红;王宝瑞;刘有海;宋颖慧;张敏;吕磊;戴晓静 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | B25H1/14 | 分类号： | B25H1/14 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阻尼可调的精密直驱气浮平台，平台的气浮左支承机构、气浮右支承机构与大理石底座固定连接，工作台与气浮左支承机构、气浮右支承机构连接；光栅读数头固定安装在工作台侧面，光栅尺与气浮右支承机构固定连接；直线电机安装过渡板连接在工作台的底部，驱动用直线电机动子、阻尼用直线电机动子与直线电机安装过渡板固定连接，驱动用直线电机定子、阻尼用直线电机定子与大理石底座固定连接；本发明为阻尼可调的高精度定位装置，结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阻尼 可调 精密 直驱气浮 平台 | ||
【主权项】：
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