[发明专利]真空内位置反馈装置有效
| 申请号： | 201710810443.0 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN107544306B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 刘大猛;张晨辉;王婷;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王春光 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空内位置反馈装置，其包括：真空腔体，其与电机控制柜电连接；反馈机构，其设于所述真空腔体内，所述反馈机构包括与所述真空腔体的内壁相接的固定座和连接于所述固定座一端的绝缘体，所述绝缘体上通过导电部固设导线的一端，所述导线的另一端与所述电机控制柜电连接；机械传样臂，其能滑动的设置在所述固定座上，所述机械传样臂能伸出或缩回所述真空腔体，在所述机械传样臂滑动至与所述导电部相接触的状态下，所述机械传样臂缩回至所述真空腔体内，所述固定座、所述导线和所述真空腔体形成导电回路。本发明能在真空环境中准确的反馈机械传样臂是否完全缩回。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 位置 反馈 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空内位置反馈装置，其特征在于，所述真空内位置反馈装置包括：/n真空腔体，其与电机控制柜电连接；/n反馈机构，其设于所述真空腔体内，所述反馈机构包括与所述真空腔体的内壁相接的固定座和连接于所述固定座一端的绝缘体，所述绝缘体上通过导电部固设导线的一端，所述导线的另一端与所述电机控制柜电连接；/n机械传样臂，其能滑动的设置在所述固定座上，所述机械传样臂能伸出或缩回所述真空腔体，在所述机械传样臂滑动至与所述导电部相接触的状态下，所述机械传样臂缩回至所述真空腔体内，所述固定座、所述导线和所述真空腔体形成导电回路。/n
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