[发明专利]驱动组件及柔性精密定位平台

摘要

本发明公开了一种驱动组件及柔性精密定位平台，涉及柔性精密定位平台技术领域。该驱动组件包括第一压电驱动器和柔性驱动体，柔性驱动体包括半桥式驱动部、第一柔性铰链件以及固定平台。固定平台和半桥式驱动部分别位于第一柔性铰链件的两侧且与其固定连接，第一压电驱动器与半桥式驱动部固定连接。柔性精密定位平台包括竖向驱动组件、支撑件以及驱动组件，竖向驱动组件与驱动组件相互垂直设置。该柔性精密定位平台具有5个解耦自由度，可实现沿X轴、Y轴、Z轴的平动，及绕X轴、Y轴的偏摆转动，具备高精度、大行程、高刚度等特点。

主权项

一种驱动组件，其特征在于，包括第一压电驱动器和柔性驱动体，所述柔性驱动体包括多个半桥式驱动部、多个第一柔性铰链件以及固定平台；所述第一柔性铰链件的数量为所述半桥式驱动部的数量的二倍，两个所述第一柔性铰链件分别与一个所述半桥式驱动部的两端一一对应连接；所述固定平台位于所述多个第一柔性铰链件的中间且与全部所述第一柔性铰链件固定连接，所述半桥式驱动部与所述第一柔性铰链件固定连接且位于与其连接的所述第一柔性铰链件的远离所述固定平台的一侧；所述第一压电驱动器与所述半桥式驱动部数量相同且一一对应，所述第一压电驱动器通过第一预紧件与所述半桥式驱动部固定连接。