[发明专利]抛光垫修整器及修整设备有效

专利信息
申请号: 201710811340.6 申请日: 2017-09-11
公开(公告)号: CN107457702B 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 詹阳;姜家宏;李婷 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: B24B53/017 分类号: B24B53/017;B24B53/12
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 魏彦
地址: 100176 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种抛光垫修整器及修整设备,属于化学抛光设备技术领域,该抛光垫修整器包括转动底座、转动轴和壳体组件;转动底座与转动轴的端部连接,壳体组件通过轴承组件与所述转动轴转动连接。通过改变壳体组件的质量,来调节该抛光垫修整器的下压力,以对抛光垫表面进行修整。具有结构简单、控制难度低、下压力可调、维护和维修简易便利的特点,并且无需外加其他动力源的方式对抛光垫进行修整。该修整设备包括导向装置、连接杆和上述的抛光垫修整器;导向装置起到对抛光垫修整器移动方向的引导作用,以便于操作者对抛光垫修整器再抛光垫上的移动位置进行精准调节,进而对抛光垫表面进行修整。
搜索关键词: 抛光 修整 设备
【主权项】:
1.一种抛光垫修整器,其特征在于,包括:转动底座、转动轴和壳体组件;所述转动底座与转动轴的端部连接,以使所述转动底座与所述转动轴能够同步转动;所述壳体组件通过轴承组件与所述转动轴转动连接,所述壳体组件能够相对于转动轴转动;所述壳体组件包括外壳和固定盖;所述外壳通过轴承组件与所述转动轴转动连接;所述固定盖与所述外壳远离所述转动底座的端部连接;所述固定盖与所述外壳可拆卸连接,以便于更换不同质量的固定盖;还包括手持部,所述手持部与所述固定盖连接;所述转动底座包括转动轴底盘、研磨座、圆盘和底座压盖;所述转动轴底盘靠近转动轴的一端与所述转动轴连接,所述转动轴底盘远离所述转动轴的一端与所述研磨座连接;所述转动轴底盘与所述研磨座通过球面销连接;所述圆盘与所述研磨座远离所述转动轴底盘的一端连接;所述底座压盖设置在所述研磨座上,所述底座压盖通过销钉分别连接所述研磨座、转动轴底盘和底座压盖;所述销钉包括万向销和销套。
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