[发明专利]表面波等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201710811717.8 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN109494145B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 柏锦枝;韦刚;成晓阳;卫晶;苏恒毅;杨京 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面波等离子体加工设备，包括微波源机构、波导机构、谐振腔及反应腔室，其中，微波源机构通过波导机构将微波能量输送至所述谐振腔，谐振腔位于反应腔室的顶部，用于向反应腔室输送所述微波能量，该波导机构包括圆柱形波导和矩形波导，其中，圆柱形波导竖直设置，且位于谐振腔的顶部，并且圆柱形波导与谐振腔相连通；矩形波导的长度方向水平设置，且矩形波导的输入端与微波源机构连接，矩形波导的输出端与圆柱形波导的输入端相连通。本发明提供的表面波等离子体加工设备，其可以避免出现打火现象，从而可以提高设备的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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