[发明专利]具有可拆卸式气体分配板的喷淋头有效
| 申请号： | 201710811999.1 | 申请日： | 2014-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN107578976B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | D·卢博米尔斯基;V·克尼亚齐克;H·诺巴卡施;J·德拉罗萨;Z·J·叶;J·Y·孙;S·班达 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/02;H01L21/67;B05B1/00;B05B1/18;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 李炜;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了具有可拆卸式气体分配板的喷淋头的实施例。在一些实施例中，一种使用于基板处理腔室的喷淋头，可包括：主体，所述主体具有第一侧与相对的第二侧；气体分配板，所述气体分配板设置成邻近于所述主体的所述第二侧；以及夹具，所述夹具围绕所述气体分配板的周围边缘设置以将所述气体分配板以可移除方式耦接至所述主体，其中所述主体通过所述夹具电耦接至所述气体分配板。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可拆卸 气体 分配 喷淋 | ||
【主权项】：
一种用于基板处理腔室的喷淋头，所述喷淋头包括：主体，所述主体具有第一侧与相对的第二侧；气体分配板，所述气体分配板设置成邻近于所述主体的所述第二侧；以及夹具，所述夹具围绕所述气体分配板的周围边缘设置以将所述气体分配板以可移除方式耦接至所述主体，其中所述主体通过所述夹具电耦接至所述气体分配板。
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