[发明专利]激光加工装置以及激光加工方法有效
| 申请号： | 201710816128.9 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN107866639B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 山口友之 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/70 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制进行聚光加工时的加工品质的劣化的激光加工装置。在激光束的路径上配置有可变孔。透过可变孔的激光束被聚光成在加工对象物的表面上形成光束腰。在激光光源和可变孔之间的激光束的路径上配置有光束扩展器，该光束扩展器具有改变激光束的发散会聚角的功能。控制装置获取将可变孔的开口部的大小设为第1大小时的激光束的功率的测量值和将可变孔的开口部的大小设为第2大小时的激光束的功率的测量值，并根据判定条件来判定测量值之间的关系是否合适。当判定为不合适时，控制光束扩展器来改变激光束的发散会聚角，以使激光束的功率的测量值之间的关系判定为合适。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，其特征在于，具有：激光光源，输出激光束；可变孔，配置于从所述激光光源输出的激光束的路径上，且能够改变开口部的大小；聚光透镜，使透过所述可变孔的激光束聚光以便在加工对象物的表面上形成光束腰；光束扩展器，配置于所述激光光源和所述可变孔之间的激光束的路径上，且具有改变激光束的发散会聚角的功能；测量器，测量被所述聚光透镜聚光后的激光束的功率；以及控制装置，控制所述可变孔以及所述光束扩展器，所述控制装置从所述测量器获取将所述可变孔的开口部的大小设为第1大小时的激光束的功率的测量值和将所述可变孔的开口部的大小设为第2大小时的激光束的功率的测量值，所述控制装置根据判定条件来判定将所述可变孔的开口部的大小设为所述第1大小时的激光束的功率的测量值与将所述可变孔的开口部的大小设为所述第2大小时的激光束的功率的测量值之间的关系是否合适，当判定为激光束的功率的测量值之间的关系不合适时，所述控制装置控制所述光束扩展器来改变激光束的发散会聚角，以使激光束的功率的测量值之间的关系判定为合适。
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