[发明专利]极化用治具及压电层的极化方法和超声波生物识别装置的制备方法有效
申请号: | 201710819247.X | 申请日: | 2017-09-12 |
公开(公告)号: | CN109494296B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 汪羽 | 申请(专利权)人: | 江西欧迈斯微电子有限公司 |
主分类号: | H01L41/257 | 分类号: | H01L41/257;G06V40/13 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 潘霞 |
地址: | 330096 江西省南昌市*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种极化用治具及压电层的极化方法和超声波生物识别装置的制备方法。该极化用治具用于安装在待极化件,该极化用治具包括导电托盘、掩模和电连接组件。导电托盘用于安装待极化件,导电托盘能够与地线连接;掩模能够盖设在导电托盘上,掩模能够遮盖导电托盘中的待极化件,而使压电层露出,且掩模能够与压电层共同配合以完全遮盖电路层,掩模的材质为聚醚酰亚胺塑料;电连接组件安装在掩模上,电连接组件能够电连接电路层和导电托盘,当掩模盖设在导电托盘上时,电连接组件位于掩模朝向导电托盘的一侧。使用该极化用治具能够使压电层的极化方法操作简单,且能够使压电层在薄膜晶体管上实现有效的极化。 | ||
搜索关键词: | 极化 用治具 压电 方法 超声波 生物 识别 装置 制备 | ||
【主权项】:
1.一种极化用治具,用于安装待极化件,所述待极化件包括基板和压电层,所述基板具有相对的第一表面和第二表面,所述第一表面上设有电路层,所述压电层层叠在所述第一表面上,并覆盖部分所述电路层,其特征在于,所述极化用治具包括:导电托盘,用于安装所述待极化件,所述导电托盘能够与地线连接;掩模,能够盖设在所述导电托盘上,所述掩模能够遮盖所述导电托盘中的所述待极化件,而使所述压电层露出,且所述掩模能够与所述压电层共同配合以完全遮盖所述电路层,其中,所述掩模的材质为聚醚酰亚胺塑料;及电连接组件,安装在所述掩模上,所述电连接组件能够电连接所述电路层和所述导电托盘,当所述掩模盖设在所述导电托盘上时,所述电连接组件位于所述掩模朝向所述导电托盘的一侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西欧迈斯微电子有限公司,未经江西欧迈斯微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710819247.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。