[发明专利]压电层的极化方法和超声波生物识别装置的制备方法有效
申请号: | 201710819250.1 | 申请日: | 2017-09-12 |
公开(公告)号: | CN109494297B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 汪羽 | 申请(专利权)人: | 江西欧迈斯微电子有限公司 |
主分类号: | H01L41/257 | 分类号: | H01L41/257;H01L27/20;G06V40/12 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 潘霞 |
地址: | 330096 江西省南昌市*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明涉及一种压电层的极化方法和超声波生物识别装置的制备方法。该压电层的极化方法包括:将保护膜粘附在压电层远离基板的一侧上,并使每相邻两列压电层之间的间隙上均具有一个聚酰亚胺膜,且聚酰亚胺膜与压电层远离基板的一侧的边缘通过粘结层粘结固定,聚酰亚胺膜和压电层共同配合以完全遮盖电路层;将待极化件固定在导电托盘中,并使基板的第二表面朝向导电托盘和使电路层与导电托盘电连接;将导电托盘与地线连接,并在靠近压电层粘附有聚酰亚胺膜的一侧电晕放电以进行极化处理;将聚酰亚胺膜和粘结层从压电层上分离。该压电层的极化方法操作简单,且能够使压电层在基板上实现有效地极化。 | ||
搜索关键词: | 压电 极化 方法 超声波 生物 识别 装置 制备 | ||
【主权项】:
1.一种压电层的极化方法,其特征在于,包括如下步骤:提供待极化件和保护膜,所述待极化件包括基板和压电层,所述基板具有相对的第一表面和第二表面,所述第一表面上设有电路层,所述压电层为多列,多列所述压电层间隔设置在所述第一表面上,且所述压电层覆盖部分所述电路层,所述保护膜包括聚酰亚胺膜和粘结层,所述聚酰亚胺膜的宽度大于相邻两列所述压电层之间的间隙的宽度;将所述保护膜粘附在所述压电层远离所述基板的一侧上,并使每相邻两列所述压电层之间的间隙上均具有一个所述聚酰亚胺膜,且所述聚酰亚胺膜与所述压电层远离所述基板的一侧的边缘通过所述粘结层粘结固定,所述聚酰亚胺膜和所述压电层共同配合以完全遮盖所述电路层;提供极化用治具,所述极化用治具包括导电托盘,将所述待极化件固定在所述导电托盘中,并使所述基板的第二表面朝向所述导电托盘,和使所述电路层与所述导电托盘电连接;将所述导电托盘与地线连接,并在靠近所述压电层粘附有所述聚酰亚胺膜的一侧电晕放电以进行极化处理;及将所述聚酰亚胺膜和所述粘结层从所述压电层上分离。
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