[发明专利]一种基于指示函数的交叉传递函数快速分解方法在审
| 申请号： | 201710820278.7 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN107621757A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 贡顶;沈忱;崔绍春;陈雪莲;鄢丽萍 | 申请（专利权）人： | 苏州珂晶达电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F17/14 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于指示函数的交叉传递函数快速分解方法，其包括1)获取成像系统的光源函数J(f,g)；2)将描述光源的区域Ω进行划分得到一组正交子区域Ωij，并用正交子区域上的指示函数Iij(f,g)描述所述光源函数J(f,g)；3)计算所述指示函数Iij(f,g)的傅里叶逆变换，获得空间上域的基函数Lij(x,y)，并将空间域上的光源互强度函数投影到一组基函数上，获得对光源互强度函数的分解；4)建立空间域上的交叉传递函数的核函数c；5)计算核函数与掩膜板图形的卷积，获得像平面上的曝光图案本发明利用正交区域上的指示函数Iij(f,g)表述光源函数，利用指示函数的正交关系，及光源的投影系数直接获得光源互强度函数的分解，容易获得交叉传递函数的核函数使得光强分布计算快速而高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 指示 函数 交叉 传递函数 快速 分解 方法 | ||
【主权项】：
一种基于指示函数的交叉传递函数快速分解方法，其特征在于：其包括以下步骤，步骤S101：获取成像系统的光源函数J(f,g)；步骤S102：将描述光源的区域Ω进行划分得到一组正交子区域Ωij，并用正交子区域上的指示函数Iij(f,g)描述所述光源函数J(f,g)；步骤S103：计算所述指示函数Iij(f,g)的傅里叶逆变换，获得空间上域的基函数Lij(x,y)，并将空间域上的光源互强度函数投影到一组基函数上，获得对光源互强度函数的分解；步骤S104：建立空间域上的交叉传递函数的核函数步骤S105：计算核函数与掩膜板图形的卷积，获得像平面上的曝光图案
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