[发明专利]具有长期连续工作能力的离子束抛光设备有效
申请号: | 201710820593.X | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN107457617B | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 倪磊;倪晋 | 申请(专利权)人: | 成都睿坤科技有限公司 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 马碧娜 |
地址: | 610000 四川省成都市双流西*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了具有长期连续工作能力的离子束抛光设备,包括放电腔、阳极板、格栅板,最外层格栅板上设置安装块,安装块上设置钨丝,所述钨丝的自由端伸出至安装块外侧,相邻两块格栅板之间设置陶瓷连接块,陶瓷连接块的相对两侧分别与两块格栅板固定连接,格栅板上的通孔分布在格栅板中心位置;安装块设置有两个,两个安装块对称分布在格栅板中心的两侧,每个安装块上均连接一根钨丝,两根钨丝的自由端相互缠绕;安装块朝向格栅板中心位置的侧面设置凹槽,且所述凹槽的孔径从敞口端至内部线性增大。本发明用以解决现有技术中离子束抛光机无法保持长时间正常工作的问题,实现提高离子束抛光机的正常工作时长、降低清理频率的目的。 | ||
搜索关键词: | 具有 长期 连续 工作 能力 离子束 抛光 设备 | ||
【主权项】:
1.具有长期连续工作能力的离子束抛光设备,包括放电腔(1)、位于放电腔(1)内的阳极板(2)、以及设置在放电腔(1)出口端的若干层格栅板(3),最外层格栅板(3)上设置安装块(4),所述安装块(4)上设置钨丝(5),所述钨丝(5)的自由端伸出至安装块(4)外侧,其特征在于,相邻两块格栅板(3)之间设置陶瓷连接块(7),所述陶瓷连接块(7)的相对两侧分别与两块格栅板(3)固定连接,格栅板(3)上的通孔(31)分布在格栅板(3)中心位置;所述安装块(4)设置有两个,两个安装块(4)对称分布在格栅板(3)中心的两侧,每个安装块(4)上均连接一根钨丝(5),两根钨丝(5)的自由端均朝向格栅板(3)中心位置伸出,且两根钨丝(5)的自由端相互缠绕;所述安装块(4)朝向格栅板(3)中心位置的侧面设置凹槽(6),且所述凹槽(6)的孔径从敞口端至内部线性增大;所述陶瓷连接块(7)为与格栅板(3)外缘形状一致的环形结构;所述阳极板(2)通过导线电连接至放电腔(1)外部。
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