[发明专利]基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀的装置及方法

摘要

本发明涉及一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置及方法，其特征在于利用高压淹没空化水射流中空泡溃灭产生的高压冲击波、高速微射流和局部高温，并结合相应的模具来对微零件进行冲压或刻蚀加工，冲压或累积刻蚀形成所需要的形状。用于产生高压淹没空化水射流的装置，包括蓄水池系统，定量泵‑蓄能器‑卸荷阀恒压能源系统，空化水射流发生系统，高压淹没加工系统，循环回路系统和相关外围设备；本发明不同于常规的加工方法，其丰富了微零件冲压和刻蚀的加工方法，冲压的程度和精度、刻蚀加工的精度和效率得到较大提高，且整个装置结构简单，易操作，易维护，成本较低，对环境友好。

主权项

1.基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置，其特征在于：包括蓄水池系统、定量泵‑蓄能器‑卸荷阀恒压能源系统、空化水射流发生系统、高压淹没加工系统，其特征在于，所述蓄水池系统由蓄水池(1)、冷水机组(3)和排水阀(4)组成；蓄水池(1)右下方设计有进水口与冷水机组(3)连通，蓄水池(1)左下方设有排水阀(4)，且蓄水池(1)上方分别设置进水管和出水管；所述定量泵‑蓄能器‑卸荷阀恒压能源系统包括第一过滤器(5)、高压柱塞泵(6)、单向阀(7)、电磁溢流阀(10)和卸荷阀(11)，所述蓄水池(1)出水管上依次设置第一过滤器(5)、高压柱塞泵(6)、单向阀(7)，所述高压柱塞泵(6)与单向阀(7)之间的管路上设置分支管路连通蓄水池(1)，所述分支管路上设置有电磁溢流阀(10)和卸荷阀(11)；所述空化水射流发生系统包括第一调节阀(12)、温度传感器(13)、第一流量计(14)、第一压力表(15)、空化喷嘴(16)、空化水射流导向装置(17)，空化喷嘴(16)通过高压软管与单向阀(7)连接，单向阀(7)与空化喷嘴(16)之间依次设置第一调节阀(12)、温度传感器(13)、第一流量计(14)、第一压力表(15)，空化喷嘴(16)连接在空化水射流导向装置(17)上；所述高压淹没加工系统由高压容器(18)、增压阀(19)、排气阀(20)、第二压力表(21)、进水阀(22)、三坐标工作台(23)、冲压模具或刻蚀掩模(24)、定位夹紧装置(26)、高压空气压缩机(27)组成；三坐标工作台(23)安装在高压容器(18)内部底面上，定位夹紧装置(26)安装在三坐标工作台(23)上，空化喷嘴(16)、空化水射流导向装置(17)均位于高压容器(18)内部，高压容器(18)上还分别设置增压阀(19)、排气阀(20)、第二压力表(21)、进水阀(22)，增压阀(19)与高压空气压缩机(27)连接；进水阀(22)能够与进水管相连。