[发明专利]柔性OLED面板的制作方法在审
申请号: | 201710824009.8 | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN107644891A | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
发明(设计)人: | 李松杉 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56;H01L21/78;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种柔性OLED面板的制作方法,首先在高透光性的玻璃基板上涂布形成柔性衬底基板,再在柔性衬底基板上依次制作TFT层和OLED层,最后采用激光对柔性衬底基板进行激光剥离,使所述柔性衬底基板从玻璃基板上剥离下来,由于该玻璃基板对该激光的透过率为96%以上,在采用激光剥离技术将柔性衬底基板从玻璃基板上剥离时,可以让大部分的激光透过玻璃基板,从而使用较低的能量就可以使柔性衬底基板从玻璃基板上剥离下来,进而不会影响到柔性衬底基板和TFT层的性能,可以得到正常的TFT电性,能够大幅度改善产品良率。 | ||
搜索关键词: | 柔性 oled 面板 制作方法 | ||
【主权项】:
一种柔性OLED面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤S1、提供玻璃基板(500),在所述玻璃基板(500)上形成柔性衬底基板(110),在所述柔性衬底基板(110)上形成TFT层(120),在所述TFT层(120)上形成OLED层(130);步骤S2、采用激光对柔性衬底基板(110)进行激光剥离,使所述柔性衬底基板(110)从玻璃基板(500)上剥离下来;所述玻璃基板(500)对所述步骤S2中所采用的激光的透过率为96%以上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的