[发明专利]柔性OLED面板的制作方法在审

专利信息
申请号: 201710824009.8 申请日: 2017-09-13
公开(公告)号: CN107644891A 公开(公告)日: 2018-01-30
发明(设计)人: 李松杉 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56;H01L21/78;H01L21/77
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所44265 代理人: 林才桂
地址: 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种柔性OLED面板的制作方法,首先在高透光性的玻璃基板上涂布形成柔性衬底基板,再在柔性衬底基板上依次制作TFT层和OLED层,最后采用激光对柔性衬底基板进行激光剥离,使所述柔性衬底基板从玻璃基板上剥离下来,由于该玻璃基板对该激光的透过率为96%以上,在采用激光剥离技术将柔性衬底基板从玻璃基板上剥离时,可以让大部分的激光透过玻璃基板,从而使用较低的能量就可以使柔性衬底基板从玻璃基板上剥离下来,进而不会影响到柔性衬底基板和TFT层的性能,可以得到正常的TFT电性,能够大幅度改善产品良率。
搜索关键词: 柔性 oled 面板 制作方法
【主权项】:
一种柔性OLED面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤S1、提供玻璃基板(500),在所述玻璃基板(500)上形成柔性衬底基板(110),在所述柔性衬底基板(110)上形成TFT层(120),在所述TFT层(120)上形成OLED层(130);步骤S2、采用激光对柔性衬底基板(110)进行激光剥离,使所述柔性衬底基板(110)从玻璃基板(500)上剥离下来;所述玻璃基板(500)对所述步骤S2中所采用的激光的透过率为96%以上。
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