[发明专利]节能型高洁净度洁净室系统

摘要

本发明公开了一种节能型高洁净度洁净室系统，包括洁净室结构系统，其包括洁净室房间、多孔高架地板、内洁净隔断室、风淋室、缓冲走廊和回风夹道；空气调节系统，其包括空调室外机、空调室内处理机组、风机滤器机组、上回风静压箱和下回风静压箱；及智能控制系统，其包括触摸控制屏和控制器。本发明的节能型高洁净度洁净室系统，能耗低、控制精度高，能有效保证洁净室内空气的高洁净度，在满足纳米、微电子、生物、生命科学等领域高洁净度等级洁净室相关工艺参数的同时，实现了系统的节能化，降低了系统能耗，节约了运行成本。

主权项

一种节能型高洁净度洁净室系统，其特征在于，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间、架设在所述洁净室房间地面上的多孔高架地板、设置在所述多孔高架地板上的内洁净隔断室、设置于所述洁净室房间入口处的风淋室、设置在所述多孔高架地板上且与所述风淋室连通的缓冲走廊和设置在所述洁净室房间内的侧部的回风夹道；空气调节系统，其包括空调室外机、间隔设置于所述高架地板底面上的多个空调室内处理机组、设置于所述内洁净隔断室顶部的风机滤器机组、设置于所述风机滤器机组上的上回风静压箱和设置于所述高架地板底面上的下回风静压箱；及智能控制系统，其包括触摸控制屏和控制器。