[发明专利]基于光谱波长的非接触式位移测量方法及其测量装置有效
| 申请号： | 201710824674.7 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107504897B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张庆祥;唐小琦;周华民;宋宝;张云 | 申请（专利权）人： | 广东三姆森科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京惟盛达知识产权代理事务所(普通合伙) 11855 | 代理人： | 杨青 |
| 地址： | 523850 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种基于光谱波长的非接触式位移测量方法及其测量装置，其中装置包括点状光源，出射多色光；光学元件，使所述光产生轴向色差，使产生该轴向色差的光会聚于测量对象物上；第一测量器，其具有开口，在由所述光学元件会聚的光中，使聚焦于所述测量对象物上的光通过；第二测量器求出通过所述开口的光的光谱，基于所述光谱的峰波长，求出所述光学元件与所述测量对象物之间的距离；第一测量器求出预定的参考光谱的光环的重心位置与第一测量器上的光轴中心点之间的位置偏移量，并利用与所述位置偏移量关联的距离补偿值来校正所述距离。本发明不用改变光学元件与测量对象物之间的距离，也能得出准确率高的测量结果。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光谱 波长 接触 位移 测量方法 及其 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于光谱波长的非接触式位移测量方法，S1、使多色光从点状光源出射，S2、使所述光产生轴向色差，利用光学元件使产生该轴向色差的光会聚于测量对象物上，其特征在于：S3、在利用所述光学元件会聚的光中，使聚焦于所述测量对象物上的光通过第一测量器上的开口，S4、第二测量器求出通过所述开口的光的光谱，S5、基于所述光谱的峰波长，求出所述光学元件与所述测量对象物之间的距离，S6、求出第一测量器上的预定的参考光谱的光环的重心位置坐标与第一测量器上的光轴中心点之间的位置偏移量，S7、利用与所述位置偏移量关联的距离补偿值来补偿所述距离，如果重心位置坐标中的Y值大于零，则在S5求出的距离的基础上加上距离补偿值；如果重心位置坐标中的Y值小于零，则在S5求出的距离的基础上减去距离补偿值；如果重心位置坐标中的Y值等于零，则S5求出的距离不变。
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