[发明专利]一种用于芯片级系统散热的自循环流体装置

摘要

本发明属于流体机械领域，具体涉及一种用于芯片级系统散热的自循环流体装置，包括微流道散热器，冷却装置，液体导管和微泵。本发明首先采用2个微泵利用其扩散/收缩管结构，产生的净流量差这一特性，使液体朝一个方向流动；将微泵a、微泵b通过液体导管和微流道散热器1、微流道散热器2相连接，最终使液体形成单向循环流动。通过微泵作为输送动力，从热源芯片端流过的液体温度升高，而流经冷却装置的使液体温度降低，并使高温液体和常温液体进行分离，达到更好的散热效果；其次通过两个微泵的主腔体共用一片振膜，更简单高效的驱动液体流动。本发明散热效率更好，可集成度高。

主权项

一种用于芯片级系统散热的自循环流体装置，包括微流道散热器，冷却装置，液体导管和微泵，其特征在于：所述微流道散热器有两个，微流道散热器1的出入口通过两根液体导管引出，分别与微泵a的出口和微泵b的入口相连接；微流道散热器2的出入口通过两根液体导管引出，分别与微泵b的出口和微泵a的入口相连接；微流道散热器1的表面与目标散热芯片相连接，微流道散热器2的表面与冷却装置相连接；所述微泵有两个，其结构相同，由微泵体，主腔体，入口扩散/收缩管，出口扩散/收缩管，入口侧腔体，出口侧腔体，振膜组成；微泵a的出口和微泵b的入口分别通过液体导管与微流道散热器1的出入口相连，微泵a的入口和微泵b的出口分别通过液体导管与微流道散热器2的出入口相连；微泵a，微泵b，微流道散热器1，微流道散热器2，4根液体导管，构成一个单向循环系统。