[发明专利]一种正性光刻胶用显影液及其应用有效
| 申请号： | 201710825460.1 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107357140B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 李森虎;殷福华;徐辉;赵文虎;顾玲燕 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种正性光刻胶用显影液，主要组分包含碱源、润湿分散剂、金属保护剂、水和显影增强剂，显影增强剂为选自硼酸、C2～C4的羟基酸中的一种或两种的组合，碱源与显影增强剂的摩尔比为1：（0.05～0.2）。本发明正性光刻胶用显影液通过加入显影增强剂，形成碱性的缓冲溶液，调节显影液中氢氧根的初始浓度，随着氢氧根的持续消耗，推动了缓冲溶液物质水合反应的进行生成氢氧根，显影速度适中。本发明还公开了正性光刻胶用显影液的制备方法及应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 显影液 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种正性光刻胶用显影液，其特征在于，主要组分包含碱源、润湿分散剂、金属保护剂、水和显影增强剂，显影增强剂为选自硼酸、C2～C4的羟基酸中的一种或两种的组合，碱源与显影增强剂的摩尔比为1：（0.05～0.2）。
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