[发明专利]半导体的锡银接合结构及其制造方法在审
申请号: | 201710827840.9 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN109509731A | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 卢威华 | 申请(专利权)人: | 屏东科技大学 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60;C23C18/44;C23C18/52 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭露一种半导体的锡银接合结构及其制造方法,该半导体的锡银接合结构具有导接铜层、锡镀层及银镀层,该导接铜层与含锡镀液接触以进行第一化学镀反应,使该锡镀层直接形成于该导接铜层表面,该锡镀层与含银镀液接触以进行第二化学镀反应,使该银镀层直接形成于该锡镀层表面,其中该银镀层用以抑制该锡镀层表面形成锡须。 | ||
搜索关键词: | 锡镀层 接合结构 银镀层 导接 锡银 半导体 直接形成 化学镀 铜层 表面形成 铜层表面 锡镀液 镀液 含银 锡须 制造 | ||
【主权项】:
1.一种半导体的锡银接合结构,其特征在于其包含:导接铜层,具有第一显露面;锡镀层,直接形成于该导接铜层的该第一显露面,含锡镀液与该导接铜层进行第一化学镀反应以形成该锡镀层,该锡镀层具有第二显露面;以及银镀层,直接形成于该锡镀层的该第二显露面,含银镀液与该锡镀层进行第二化学镀反应以形成该银镀层,该银镀层用以抑制该锡镀层的该第二显露面形成锡须。
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