[发明专利]一种真空充气设备及实现方法有效
| 申请号： | 201710829195.4 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107806565B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 孙文利;胡建忠;黄炎;张佐;刘振龙;李刚 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C13/02;F17C13/04 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空充气设备及实现方法。该设备密封罩、温控工装、工作台、温控器、洁净仪、充气装置和分子泵；工作台上安装有抽气口、抽放气口和密封插座；温控工装安装于由密封罩和工作台形成的密闭空间内；抽放气口向外引出抽放气总管路，所述抽放气总管路连通分子泵和充气装置；抽放气总管路上还设置有薄膜规和电离规；抽气口向外引出洁净度测量管路；所述洁净度测量管路还连接洁净仪；温控器通过密封插座与温控工装的温度控制线路连接。本发明实现了保证在精密仪表密封腔内充入气体的纯度、洁净度、温度和压强，从而提高产品生产质量、效率和使用寿命的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 充气 设备 实现 方法 | ||
【主权项】：
一种真空充气设备，其特征在于，包括密封罩(1)、温控工装(2)、工作台(7)、温控器(22)、洁净仪(21)、充气装置和分子泵(17)；所述工作台(7)上安装有抽气口(4)、抽放气口(5)和密封插座(6)；所述温控工装(2)安装于由所述密封罩(1)和所述工作台(7)形成的密闭空间内，用于放置待充气容器(32)；所述抽放气口(5)向外引出抽放气总管路(19)，所述抽放气总管路(19)上设置有总阀(9)，所述总阀(9)用于控制所述抽放气总管路(19)的通断；所述抽放气总管路(19)通过第一管路(23)连通所述分子泵(17)，所述第一管路(23)上设置有抽气阀(18)；所述抽放气总管路(19)通过第二管路(24)连通所述充气装置，所述第二管路(24)上设置有充气阀(11)；所述抽放气总管路(19)上还设置有薄膜规(10)和电离规(20)，用于监测所述密闭空间内的真空度；所述抽气口(4)向外引出洁净度测量管路，所述洁净度测量管路上设置有洁净度检测阀(8)，用于控制所述洁净度测量管路的通断；所述洁净度测量管路还连接所述洁净仪(21)；所述温控器(22)通过所述密封插座(6)与所述温控工装(2)的温度控制线路(3)连接，用于对所述温控工装(2)进行恒温控制。
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