[发明专利]一种CCD晶圆绝缘电阻测试装置在审
| 申请号： | 201710830232.3 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN107817386A | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 焦贵忠;徐春叶;孙丽丽;田波;秦盼 | 申请（专利权）人： | 北方电子研究院安徽有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233030 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种CCD晶圆绝缘电阻测试装置，包括探针台、矩阵开关模块、信号采样电路、信号放大与滤波电路、A/D转换电路、单片机、直流电源以及上位机；探针台用于承载待测CCD晶圆，探针台的探针卡用于连接待测CCD晶圆的引脚，矩阵开关模块通过探针卡与待测CCD晶圆的引脚相连；单片机控制矩阵开关模块中各个开关与待测CCD晶圆引脚通道之间的切换；直流电源作为激励施加在待测CCD晶圆引脚通道之间,矩阵开关模块依次连接信号采样电路、信号放大与滤波电路、A/D转换电路、单片机与上位机；单片机将收到的测试信号与设定值进行比较，判断测量通道间的绝缘特性；该测试装置能够对各种型号的CCD晶圆进行多通道间绝缘特性测试，成本低、具有很强的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ccd 绝缘 电阻 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种CCD晶圆绝缘电阻测试装置，其特征在于，包括探针台、矩阵开关模块、信号采样电路、信号放大与滤波电路、A/D转换电路、单片机、直流电源以及上位机；所述探针台用于承载待测CCD晶圆，探针台的探针卡用于连接待测CCD晶圆的引脚，矩阵开关模块通过探针卡与待测CCD晶圆的引脚相连；所述单片机控制矩阵开关模块中各个开关与待测CCD晶圆引脚通道之间的切换；矩阵开关模块包含待测引脚矩阵开关组与加压矩阵开关组，通过加压矩阵开关组将直流电源作为激励施加在待测CCD晶圆引脚通道之间,待测引脚矩阵开关组与信号采样电路入口相连，信号采样电路出口依次连接信号放大与滤波电路、A/D转换电路、单片机与上位机；单片机将收到的测试信号与设定值进行比较，判断测量通道间的绝缘特性，并将测试结果发送给上位机进行保存与显示。
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