[发明专利]一种空间相位调制型激光干涉测量仪器及方法

摘要

本发明提供了一种空间相位调制型激光干涉测量仪器及方法，属于光电检测技术领域。该仪器包括激光光源、平行反光板、图像传感器、信号采集处理器和显示器，使用一个双面平行反光板作为空间相位调制器，空间发散激光斜入射到由低反射双面平行反光板，上下表面反射光在图像传感器表面形成由双光束干涉产生的相位调制分布。本发明的光学部分仅包括激光光源、双面平行反光板和图像传感器，相比于其他干涉仪，具有结构简单和成本低等显著优势。本发明为位移、激光波长、平板厚度和折射率的高精度测量提供了一种极具竞争力的技术方案。

主权项

一种空间相位调制型激光干涉测量仪器，其特征在于，所述的空间相位调制型激光干涉测量仪器包括激光光源(1)、平行反光板(2)、图像传感器(3)、信号采集处理器(4)和显示器(5)；激光光源(1)与图像传感器(3)之间设置平行反光板(2)，激光光源(1)发射的光斜射到平行反光板(2)表面，经平行反光板(2)上、下表面反射后入射到光图像传感器(3)，光图像传感器(3)将探测的光进行处理并形成干涉图像；信号采集处理器(4)与图像传感器(3)相连，用于采集干涉图像并对其进行相位解调；显示器(5)与信号采集处理器(4)相连，用于显示数字信号处理的结果；所述的激光光源(1)是一种空间发散光源，其空间发散角大于5度；所述的激光光源(1)是一种相干光源，其相干长度大于10倍的平行反光板(2)的厚度；所述的平行反光板(2)是一种低反射双面平行反光板，上、下表面的反射率为2％‑20％，厚度为1μm‑10mm。