[发明专利]一种测量薄膜横向热导率的方法及装置有效
| 申请号： | 201710832672.2 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN107966470B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 缪向水;童浩;王开展;王愿兵;周凌珺;蔡颖锐 | 申请（专利权）人： | 武汉嘉仪通科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N25/18 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红;王丹 |
| 地址： | 430075 湖北省武汉市东湖新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种测量薄膜横向热导率的方法，先用3ω法，以沉积在待测薄膜表面的第二金属条为加热源，测量待测薄膜的纵向热导率；待测薄膜底部设有衬底；纵向为垂直于待测薄膜的方向；再用3ω法，以第一金属条为加热源，测得待测薄膜纵向方向上的温升，结合已测得的纵向热导率推导出待测薄膜纵向方向上的热功率；同时测得第一金属条的温升，以及第一金属条的温升在待测薄膜横向产生的热场导致第二金属条的温升；最后计算厚度为d的待测薄膜的横向热导率。本发明采用“衬底/待测薄膜/金属条”样品结构，有效避免制备悬浮结构样品的工艺难点；使用双金属条可有精确地测量薄膜横向温差，测量结果精确度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 薄膜 横向 热导率 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种测量薄膜横向热导率的方法，其特征在于：它包括以下步骤：S1、用3ω法，以第二金属条为加热源，测量待测薄膜的纵向热导率KY；所述的第二金属条沉积在待测薄膜表面，待测薄膜底部设有衬底，待测薄膜与衬底构成样品，样品非悬浮设置；纵向为垂直于待测薄膜的方向；S2、用3ω法，以第一金属条为加热源，测得待测薄膜纵向方向上的温升，结合已测得的纵向热导率KY推导出待测薄膜纵向方向上的热功率PY；同时测得第一金属条的温升ΔT1，以及第一金属条的温升在待测薄膜横向产生的热场导致第二金属条的温升ΔT2；通过第一金属条的电流和电阻计算第一金属条的总功率P；通过第一金属条的电流和电阻的变化量计算第一金属条因电阻变化消耗的热功率P1；所述的第一金属条沉积在所述的样品表面，且第一金属条与所述的第二金属条相互平行、间距为D且长度L相等，第二金属条的线宽大于第一金属条；所述的横向为待测薄膜表面与第一金属条长度方向相互垂直的方向；S3、厚度为d的待测薄膜的横向热导率KX按以下公式计算：KX=(P-P1-PY)D2Ld(ΔT1-ΔT2).]]>
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉嘉仪通科技有限公司，未经武汉嘉仪通科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710832672.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
