[发明专利]一种二自由度微纳定位平台及应用有效
申请号: | 201710832950.4 | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN107547004B | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 闫鹏;汪越 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | H02N2/00 | 分类号: | H02N2/00;H02N2/04;H02N2/10;H02N2/12 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 任欢 |
地址: | 250061 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种二自由度微纳定位平台及应用,它解决了现有技术中微纳定位平台行程小,定位精度低的问题,具有行程大,分辨率高,压电叠堆预紧力可调的有益效果,其方案如下:一种二自由度微纳定位平台,包括:粘滑驱动器,包括框体,框体内设置扭转单元,扭转单元包括粘滑圆轴,粘滑圆轴两侧通过扭转件与框体连接,粘滑圆轴另两侧分别连接到一扭转支架,每一扭转支架一侧设置带调压件的致动单元,另一侧设置粘滑压电叠堆,两处粘滑压电叠堆对角设置,围绕粘滑圆轴设有摩擦单元;直动式驱动器,设于摩擦单元的顶部。 | ||
搜索关键词: | 一种 自由度 定位 平台 应用 | ||
【主权项】:
1.一种二自由度微纳定位平台,其特征在于,包括:粘滑驱动器,包括框体,框体内设置扭转单元,扭转单元包括粘滑圆轴,粘滑圆轴两侧通过扭转件与框体连接,粘滑圆轴另两侧分别连接到一扭转支架,每一扭转支架一侧设置带调压件的致动单元,另一侧设置粘滑压电叠堆,两处粘滑压电叠堆对角设置,围绕粘滑圆轴设有摩擦单元;直动式驱动器,设于摩擦单元的顶部;所述直动式驱动器包括垂直柔性铰链,垂直柔性铰链设于圆环内,圆环上部设置竖直端盖,竖直端盖内设有与垂直柔性铰链接触的竖直压电叠堆。
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