[发明专利]一种原位制备石墨复合物薄膜材料的方法

摘要

本发明公开了一种原位制备石墨复合物薄膜材料的方法，所述石墨复合物薄膜材料是以硅油和低碳烃气体为原料，经等离子体增强化学气相沉积法直接生长获得。本发明所用的原料配方为甲烷或者其他含碳气体和硅油的混合物，通过离子体增强化学气相沉积法直接生长获得，生产原料简单且相对环保，生产过程简单、生产成本低，生成的薄膜材料与衬底接触牢固，即使浸泡在HF酸中都不会脱落、溶解，且所制备的薄膜材料致密，稳定，能够经受高温氧气等离子和HF腐蚀。

主权项

一种原位制备石墨复合物薄膜材料的方法，其特征在于，所述石墨复合物薄膜材料是以硅油和低碳烃气体为原料，经等离子体增强化学气相沉积法直接生长获得。