[发明专利]一种熔石英光学元件的酸射流刻蚀方法和酸射流刻蚀装置

摘要

本发明公开了一种熔石英光学元件的酸射流刻蚀方法和酸射流刻蚀装置，包括酸液输运单元、搅拌混合单元、抛光液输运单元和喷头，采用方法为将熔石英元件在特定浓度的氢氟酸稀溶液中浸泡5～10min，去除表面污染物与抛光再沉积层；根据缺陷的位置、范围与深度信息以及元件面形数据、表面粗糙度结果设定刻蚀参数，编制生成喷头运动轨迹代码；启动酸射流刻蚀装置，按照程序指令进行酸射流刻蚀加工；超声清洗去除表面残留的抛光颗粒与氢氟酸，采用光学显微镜，光学干涉仪与光学轮廓仪再次测量元件的缺陷、表面面形与表面粗糙度结果，若结果不达标，重上述步骤，直到合格。本发明采用上述原理，实现局部区域定点刻蚀，控制刻蚀过程中的元件面形。

主权项

一种熔石英光学元件的酸射流刻蚀装置，其特征在于，包括酸液输运单元：包括蠕动泵与酸液桶或者气动隔膜泵与酸液桶，采用蠕动泵或者气动隔膜泵并联错时工作方式连续抽取氢氟酸酸液，通过耐酸软管运输酸液桶中的氢氟酸溶液至喷头混合腔中；搅拌混合单元：包括可拆卸式储液桶与电动搅拌杆，储液桶用于储放含有磨料颗粒的抛光液，通过固定接口连接抛光液输运单元，电动搅拌杆位于可拆卸式储液桶内，用于搅拌抛光液；抛光液输运单元：采用柱塞泵将搅拌混合单元中混合均匀的抛光液抽取并加压输运至喷头混合腔中，与氢氟酸酸液混合；喷头：包括混合腔与喷嘴，混合腔混合来自酸液桶和储液桶经管路输运而来的氢氟酸酸液与抛光溶液，喷嘴安装于抛光头前端。