[发明专利]一种银铜焊料的蚀刻方法

摘要

本发明是一种银铜焊料的蚀刻方法，包括如下步骤：（1）碱性除油：将钎焊半成品外壳放入碱性除油溶液中清洗；（2）水洗：先用自来水冲洗，再用去离子水清洗干净；（3）酸洗：将水洗的外壳放入酸洗液中清洗；（4）烘干；用高温鼓风干燥箱对水洗后的外壳进行高温烘干处理；（5）蚀刻：外壳放入蚀刻液中；（6）蚀刻结束后，取出外壳重复工艺步骤（2）水洗、步骤（4）烘干。优点：1）对银铜焊料进行蚀刻没有任何腐蚀伤害，外壳钎焊形貌、尺寸、焊料的覆盖程度及后续的镀覆可靠性高。2）减缓了蚀刻的过程，增加了蚀刻时间的范围，3）减少了环境污染；4）成本低，简单易行；5）解决射频功率器件外壳的“银迁移”问题，效果显著。

主权项

1.一种银铜焊料的蚀刻方法，其特征在于包括如下步骤：（1）碱性除油：将钎焊半成品外壳放入60‑80℃的碱性除油溶液中清洗5‑15min；（2）水洗：先用自来水冲洗碱性除油后的外壳，再用去离子水清洗干净；（3）酸洗：将水洗的外壳放入60‑80℃的酸洗液中清洗5‑15min；（4）烘干；用100‑120℃的高温鼓风干燥箱对水洗后的外壳进行高温烘干处理；（5）蚀刻：将清洗烘干后的外壳放入蚀刻液中，蚀刻溶液温度为室温‑40℃，蚀刻时间30‑60min；（6）蚀刻结束后，取出外壳重复工艺步骤（2）水洗、步骤（4）烘干；所述的步骤（1）中的除油所使用的溶液为浓度40~60g/L的化学除油粉；所述的步骤（3）中的酸洗所使用的溶液为5‑10mL/L的OP乳化剂、75‑150g/L的硫脲、按100‑200mL/L的95‑98wt%硫酸组成的水溶液，搅拌使其溶解完全后使用，酸洗后用自来水清洗干净；所述的步骤（5）中的蚀刻液为水溶液，其制备方法是先将200‑300 mL/L加速剂和400‑600mL/L氧化剂溶液混合均匀，混合液总体积600‑900mL，余量为水加至1000mL，再将20‑100g的缓蚀剂加入到水中，搅拌至完全溶解，所得即为蚀刻溶液；所述的氧化剂选用63‑68wt%硝酸或98‑99.5wt%冰乙酸；所述的加速剂选用95‑98wt%硫酸或36‑38wt%盐酸或83‑98wt%磷酸；所述的缓蚀剂选用3‑硝基苯磺酸钠或者乙二胺四乙酸二钠；蚀刻时蚀刻溶液的适宜温度为室温，不超过40℃。