[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明的目的在于提供一种能够高精度地清洗相向部的基板处理装置。基板处理装置具有：基板保持部，其水平地保持基板；第一供应部，其具有与保持在基板保持部上的基板的下表面相向的第一开口，并从第一开口向基板的下表面供应流体；相向部，其具有与保持在基板保持部上的基板的下表面相向的上表面；第二供应部，其从第二开口向在相向部的上表面内的中央侧凹陷的凹面供应冲洗液。第一开口的高度高于向凹面供应的冲洗液从相向部溢出时的冲洗液的液面的高度。

主权项

一种基板处理装置，其中，具有：基板保持部，其将基板保持为水平，第一供应部，其具有与保持在所述基板保持部上的所述基板的下表面相向的第一开口，并从所述第一开口向所述下表面供应流体，相向部，其具有与保持在所述基板保持部上的所述基板的下表面相向的上表面，第二供应部，其从第二开口向所述上表面中的在中央侧凹陷而成的凹面供应冲洗液；所述第一开口的高度高于向所述凹面供应的所述冲洗液从所述相向部溢出时的该冲洗液的液面的高度。