[发明专利]一种质谱仪的进出样装置及质谱仪

摘要

一种质谱仪的进出样装置及质谱仪，其中，该进出样装置包括本体，本体内设有真空密封的主腔，本体的上表面开设有通槽，且本体的上表面还设有舱门以及舱门驱动组件；主腔内设有移动组件以及放置在移动组件上的靶槽，移动组件的一侧设有托架，托架用于将靶槽从移动组件上托起以及将托起的靶槽放置在移动组件上；托架的下方设有顶杆组件，本体的下表面设有通孔，顶杆组件包括顶杆驱动器以及顶杆，顶杆穿过通孔且在顶杆外侧套接有套筒；顶杆用于将托架上的靶槽顶向通槽以及将靶槽重新放置在托架上；当顶杆将靶槽顶至通槽时，靶槽、通槽和舱门形成封闭的辅腔，辅腔内设有抽真空装置。本发保证了真空环境的安全，且进出靶过程更顺畅。

主权项

一种质谱仪的进出样装置，其特征在于：包括本体，所述本体内设有真空密封的主腔，本体的上表面开设有与主腔导通的通槽，且本体的上表面还设有舱门以及驱动舱门封盖通槽或与通槽分离的舱门驱动组件；所述主腔内设有移动组件以及放置在移动组件上的与所述通槽相匹配的靶槽，在所述移动组件的一侧设有托架，所述托架用于将靶槽从移动组件上托起以及将托起的靶槽放置在移动组件上；所述托架的下方设有顶杆组件，本体的下表面设有与主腔导通的通孔，所述顶杆组件包括设置在本体下表面的顶杆驱动器以及与顶杆驱动器相连的顶杆，所述顶杆穿过所述通孔且在顶杆外侧套接有套筒，套筒的下端固定在本体的底壁上；顶杆用于将托架上的靶槽顶向通槽以及将靶槽重新放置在托架上；当顶杆将靶槽顶至通槽时，靶槽、通槽和舱门形成封闭的辅腔，辅腔内设有抽真空装置。