[发明专利]一种铜基柔性可穿戴式压力传感器的激光制备方法

摘要

一种铜基柔性可穿戴式压力传感器的激光制备方法，属于激光微纳制造领域。传感器中铜电极的制备，由红外波段激光器辅助加工而成。铜电极的制备材料由硝酸铜三水合物、乙二醇、甲酸、水构成，先在玻璃上涂膜，然后激光直写，采用聚二甲基硅氧烷转录；传感器的柔性材料为聚二甲基硅氧烷。该种柔性压力传感器采用铜作为电极材料，大大降低了原材料的成本。采用激光直写方法，加工精度高，加工方式灵活，可实现非接触式加工。聚二甲基硅氧烷作为柔性衬底封装铜电极，使得电极部分具有抗氧化、耐腐蚀等特性。总的来说，本发明制造成本较低，工艺简单实用，传感器的使用寿命长。

主权项

一种制备铜基柔性压力传感器的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将硝酸铜三水合物、乙二醇与去离子水混合搅拌均匀，直至硝酸铜三水合物全部溶解，得到含铜的前驱材料；2)将硝酸铜的乙二醇溶液加热，加热期间需要搅拌且要进行通风；3)待溶液冷却至室温后，滴入甲酸溶液，并搅拌超声雾化；4)将反应后的硝酸铜溶液旋涂于玻璃衬底上；5)将激光器的激光通过聚焦物镜后聚焦辐照直接对玻璃上的硝酸铜薄膜扫描；6)扫描完成后，用去离子水将多余硝酸铜溶液清洗干净并干燥；7)将未固化的聚二甲基硅氧烷溶液覆盖到步骤6)所得的铜膜上；8)将器件整体加热使得聚二甲基硅氧烷材料固化；9)将聚二甲基硅氧烷从玻璃上剥离。