[发明专利]掺氮单晶硅棒及其生产方法在审
| 申请号： | 201710853927.3 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109518269A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘学;武志军;张全顺;刘伟;张文霞;谷守伟;李建弘;高树良;张雪囡 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20;C30B15/36;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掺氮单晶硅棒及其生产方法，包括在等径阶段全程通入氮气，在收尾阶段全程通入氮气。本发明的有益效果是等径状态通入既能保证氮气和单晶硅棒反应，也能保证进入液态硅里的氮化硅杂质较少，以免氮化硅杂质较多，导致单晶断苞，在等径阶段和收尾阶段全程通入氮气，利用低成本的高纯度氮气替代高纯度氩气作为保护气，能有效降低单晶硅棒的生产成本，在反应过程中，晶体的表面和氮气基本不反应，没有氮元素的引入，不影响单晶的晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 氮气 单晶硅棒 等径阶段 收尾阶段 氮化硅 掺氮 全程 高纯度氮气 高纯度氩气 影响单晶 保护气 氮元素 低成本 晶体的 液态硅 单晶 等径 生产成本 保证 生产 替代 引入 | ||
【主权项】：
1.一种掺氮单晶硅棒的生产方法，其特征在于：在等径阶段和/或收尾阶段全程通入氮气。
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