[发明专利]电容传感器测量电路及方法有效
| 申请号： | 201710854320.7 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109520403B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 程国苗;杨庆华;连国栋;贾辉;郁慰;董浩 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电容传感器测量电路及方法，所述电容传感器测量电路包括控制器、基准电压充电电路、电容桥电路和信号处理电路，其中：所述基准电压充电电路包括第一充电电路和第二充电电路，所述控制器为所述第一充电电路提供第一基准电压，所述控制器为所述第二充电电路提供第二基准电压；所述电容桥电路包括第一电容电路和第二电容电路，所述第一充电电路为所述第一电容电路充电，使第一电容电路产生第一信号；所述第二充电电路为所述第二电容电路充电，使第二电容电路产生第二信号；所述第一充电电路的充电和所述第二充电电路的充电交替发生；所述信号处理电路对所述第一信号和所述第二信号进行处理。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 传感器 测量 电路 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电容传感器测量电路，所述电容传感器测量电路用于测量光刻系统中掩膜台本体和操作机构之间的位移，其特征在于，所述电容传感器测量电路包括控制器、基准电压充电电路、电容桥电路和信号处理电路，其中：所述基准电压充电电路包括第一充电电路和第二充电电路，所述控制器为所述第一充电电路提供第一基准电压，所述控制器为所述第二充电电路提供第二基准电压；所述电容桥电路包括第一电容电路和第二电容电路，所述第一电容电路和所述第二电容电路中包括多个电容，每个所述电容的两个极板间的距离与电容电压成正比，每个所述电容的两个极板分别位于所述掩膜台本体和操作机构上；所述第一充电电路为所述第一电容电路充电，使所述第一电容电路根据其自身中电容的所述电容电压产生第一信号；所述第二充电电路为所述第二电容电路充电，使所述第二电容电路根据其自身中电容的所述电容电压产生第二信号；所述第一充电电路的充电和所述第二充电电路的充电交替发生；所述第一信号和所述第二信号提供至所述信号处理电路中，形成差分信号，由所述差分信号的变化得到所述掩膜台的位移，其中，所述差分信号的变化与所述掩膜台的位移成正比。
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