[发明专利]琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂及其制备方法、负性光刻胶组合物在审
申请号: | 201710855118.6 | 申请日: | 2017-09-20 |
公开(公告)号: | CN107759715A | 公开(公告)日: | 2018-03-06 |
发明(设计)人: | 黄巍;季昌彬 | 申请(专利权)人: | 苏州瑞红电子化学品有限公司 |
主分类号: | C08F8/08 | 分类号: | C08F8/08;C08F8/30;C08F220/06;C08F220/18;C08F220/14;G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)32235 | 代理人: | 韩晓园 |
地址: | 215124 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂及其制备方法、以及使用该琥珀酰亚胺改性的树脂的负性光刻胶组合物;其包括琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂、在射线照射下可产生强酸的产酸剂、在酸以及辅助加热作用下迅速与成膜树脂交联的交联剂、用于减弱产酸剂产酸作用的光吸收剂和/或用于减弱产酸剂产酸作用的产碱剂或有机强碱。所述负性光刻胶组合物的感光范围在350nm~420nm,可用混合线、i‑line光源曝光;得益于琥珀酰亚胺改性后的树脂的优良耐热性,所述负性光刻胶组合物在耐热和分辨率上均具有较好的表现,可用于高分辨率i线负性光刻胶组合物。 | ||
搜索关键词: | 琥珀 亚胺 改性 丙烯酸 树脂 及其 制备 方法 光刻 组合 | ||
【主权项】:
一种琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:S1自丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物中选取至少二种混合形成混合物;S2将所述混合物、琥珀酰亚胺及油溶性引发剂加入反应器中,在100℃下搅拌反应1小时后;S3然后加入含活性环氧基团的物质,继续反应3小时。
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