[发明专利]一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉

摘要

本发明公开了一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉，包括隔热笼、输气管和导流装置；导流装置设置多条导流气道，用于将输入载气分成多条出射载气流，载气流分散倾斜地吹射液态硅表面的不同区域，有效地增加了载气和液态硅表面的接触面积，载气流从单位面积上带走的热量更少，该区域液态硅的温度降幅减少，过冷度减小，降低了载气所导致的杂质形核及杂质形成。出射载气流对液态硅产生载气应力，其驱动液态硅流动，并形成作周向流动的旋转流场；旋转流场有利于液态硅中质杂的输运和均匀分布。炉顶的观察窗经导流装置具有通向铸锭炉内的视场，通过观察窗可察看炉内的状态、将测晶棒插到炉内，红外探测仪可探测炉内硅料的状态，自动长晶工艺顺利地进行。

主权项

一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉，包括隔热笼、输气管和导流管，所述隔热笼为主要由侧隔热板、顶隔热板和底隔热板所构成的腔体，其特征在于：还包括导流装置，所述导流装置包括固定连接的导流筒部和进气台部，导流筒部为沿其中心线方向设置通孔的柱体，进气台部设置在导流筒部的内部；所述导流筒部的上端设置沿其中心线方向的第一螺纹，导流筒部上端部的筒壁内设置与其共中心线的呈环状的分流腔；进气台部上设置用于载气流入的进气孔，进气孔和分流腔间通过连通气道连通；所述导流筒部的筒壁内设置至少一条自分流腔的下端面沿着非等螺距的圆柱状螺旋线向下延伸的导流气道，导流气道的出口位于导流筒部的下端；所述导流管的下端设置与所述第一螺纹相配合的第二螺纹，导流管装配在顶隔热板上，其下端穿过顶隔热板中部的通孔，并从顶隔热板的下端面伸出；所述导流装置和导流管通过所述第一、第二螺纹轴向固定连接；输气管设置在导流管内，输气管的一端和铸锭炉上的用于输送载气的进气管连通，另一端和进气台部的进气孔连通。