[发明专利]一种烘烤装置及烘烤方法在审
| 申请号： | 201710857275.0 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107632501A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 沈顺杰;宋江江 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种烘烤装置及方法，用于对基板的烘烤加工，所述装置包括箱体、设于箱体内的灯源；箱体包括对基板烘烤的烘烤腔，灯源位于烘烤腔顶部，灯源与烘烤腔之间间隔设有透光的隔热板，供灯箱的光源进入烘烤腔。所述灯源和加热器同时工作，使烘烤腔内加热到预设加热温度，并在预设控温时间内保持恒温，灯源达到预设照射强度，并在预设照射时间内保持照射状态。所述烘烤装置同时加热与照射样品能够解决在烘烤过程中提高基板的色阻在显影后的光阻交联程度，并减少基板的加工步骤和工时，从而减少材料及人力的成本投入。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘烤 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种烘烤装置，用于对基板的烘烤加工，其特征在于，包括：箱体、设于所述箱体内的灯源，所述箱体包括对所述基板进行烘烤的烘烤腔，所述灯源位于所述烘烤腔顶部，所述灯源与所述烘烤腔之间间隔设有透光的隔热板，供所述灯箱的光源进入所述烘烤腔。
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