[发明专利]玻璃板有效
| 申请号： | 201710859740.4 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107857479B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 佐藤启史;似内佑辅;中谷嘉孝;山田兼士;富永龍;米道友广 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃板。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且提高玻璃板的朝向判断性。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。利用作为反应气体的氟化氢气体对第2主表面(20)进行蚀刻并且利用滞留气体(G)对第1端面(30)也进行蚀刻。其结果，第1主表面(10)的第1表面粗糙度小于第2主表面(20)的第2表面粗糙度，第1端面(30)的第1碎玻璃剥离率大于第2端面(40)的第2碎玻璃剥离率，由此，防止吸附于载物台的第2主表面(20)的剥离带电，容易利用第1端面(30)的表面粗糙化判断玻璃板(1)的方向性。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃板 | ||
【主权项】：
一种玻璃板，其特征在于，该玻璃板具有：第1主表面；第2主表面，其与所述第1主表面相对；以及端面，其连接所述第1主表面和所述第2主表面，所述端面包括第1端面，所述第1主表面的第1表面粗糙度小于所述第2主表面的第2表面粗糙度，所述第1端面的第1碎玻璃剥离率与其他的端面的碎玻璃剥离率不同。
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