[发明专利]一种提高柔性电容器电容量的方法有效

专利信息
申请号: 201710860857.4 申请日: 2017-09-21
公开(公告)号: CN107611017B 公开(公告)日: 2019-09-13
发明(设计)人: 李玲霞;郑浩然;于仕辉;陈思亮;孙正 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 张宏祥
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种提高柔性电容器电容量的方法,清洗柔性衬底后将聚酰亚胺、环氧树脂和乙二醇甲醚按质量比为1:0.65:0.35配制成混合溶液;再将硅烷偶联剂KH550、无水乙醇和去离子水按质量比为0.01:0.8:0.19配制成溶液,将钛酸钡纳米粉体加入制得悬浊液,纳米粉体与溶液的质量比为0.05:1;再过滤悬浊液并干燥沉淀,得到改性后的钛酸钡纳米粉体;再将改性后的纳米粉体加入上述混合溶液中,改性后的纳米粉体与混合溶液中聚酰亚胺的质量比为0.03~0.09:1;另将柔性衬底真空吸附在匀胶台上,用滴管将聚酰亚胺/环氧树脂/钛酸钡纳米粉体混合溶液均匀旋涂在柔性衬底上,得到复合膜制品;干燥后降至80℃以下时取出制品,再利用掩膜版制备金属电极,制得柔性电容器。
搜索关键词: 一种 提高 柔性 电容器 容量 方法
【主权项】:
1.一种提高柔性电容器电容量的方法,具体步骤如下:(1)清洗柔性铜箔衬底将柔性铜箔衬底放入丙酮中超声清洗20分钟,用去离子水冲洗后烘干,将烘干后的柔性衬底放入酒精中清洗20分钟,用去离子水冲洗后用氮气吹干;(2)制备聚酰亚胺/环氧树脂体系称取聚酰亚胺和环氧树脂,随后将其混合,向其中加入有机溶剂乙二醇甲醚并搅拌均匀,所述聚酰亚胺、环氧树脂、乙二醇甲醚的质量比为1:0.65:0.35;再将其置入超声清洗器中超声10~20分钟,使溶液混合均匀,再将混合溶液静置以去除振荡过程中产生的气泡;(3)改性钛酸钡纳米粉体将硅烷偶联剂KH550、无水乙醇和去离子水配制成溶液,然后将其置于磁力搅拌机上搅拌20~40分钟,所述硅烷偶联剂KH550、无水乙醇、去离子水的质量比为0.01:0.8:0.19;再将钛酸钡纳米粉体加入上述混合溶液中,随后置于超声清洗器中振荡30~50分钟,使钛酸钡纳米粉体与混合溶液充分混合,制得悬浊液,所述钛酸钡纳米粉体与混合溶液的质量比为0.05:1;再过滤悬浊液得到沉淀物,随后将沉淀物放入电热干燥箱中进行干燥,得到改性处理后的钛酸钡纳米粉体;(4)制备聚酰亚胺/环氧树脂/钛酸钡纳米粉体复合体系称取步骤(3)中改性后钛酸钡纳米粉体,随后将其加入步骤(2)的混合溶液中,置入超声清洗器中超声10~20分钟,使钛酸钡纳米颗粒均匀分散到混合溶液中,再将混合溶液静置以去除振荡过程中产生的气泡;改性后钛酸钡纳米粉体与混合溶液中的聚酰亚胺的质量比为0.03~0.09:1;(5)将步骤(1)清洗后的柔性衬底真空吸附在匀胶台上,使柔性衬底固定,用滴管将步骤(4)中的聚酰亚胺/环氧树脂/钛酸钡纳米粉体混合溶液均匀涂覆在柔性衬底上,以低转速0.5~0.8千转/分钟,旋涂9~15秒,再以高转速3~6千转/分钟,旋涂40~60秒,得到聚酰亚胺/环氧树脂/钛酸钡纳米粉体复合膜;(6)将步骤(5)旋涂聚酰亚胺/环氧树脂/钛酸钡纳米粉体复合膜的制品放入电热干燥箱中,在50~70℃温度下加热1.5~3小时,蒸发有机溶剂乙二醇甲醚,随后在160~200℃温度下加热1~3小时,固化聚酰亚胺/环氧树脂/钛酸钡纳米粉体复合膜;(7)待步骤(6)的制品温度降至80℃以下时,将制品取出;(8)在步骤(7)取出制品的聚酰亚胺/环氧树脂/钛酸钡纳米粉体复合膜上面利用掩膜版制备金属电极,制得柔性电容器。
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