[发明专利]扫描隧道显微镜在审
| 申请号： | 201710861990.1 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107632171A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 沈艳 | 申请（专利权）人： | 沈艳 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q10/02 |
| 代理公司： | 广州天河万研知识产权代理事务所(普通合伙)44418 | 代理人： | 刘强 |
| 地址： | 210019 江苏省南京市建*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于扫描探针显微镜技术领域。本发明解决的技术问题是现有扫描隧道显微镜使用电扫描管较多，制作和使用都比较复杂，而且体积大，不适合在极端条件下使用。本发明的技术方案为一种扫描隧道显微镜，所述扫描隧道显微镜包括镜体、压电扫描管、以及压电步进马达，镜体内置空腔，压电扫描管和压电步进马达均安装在所述空腔内。本发明的有益效果是，制作简便，用1根压电扫描管即可完成实现探针‑样品的粗逼近和扫描，能够在极低温以及强磁场等对扫描隧道显微镜尺寸有较大限制的极端环境中使用。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 隧道 显微镜 | ||
【主权项】：
扫描隧道显微镜，其特征在于，所述扫描隧道显微镜包括镜体(1)、压电扫描管(2)、以及压电步进马达(3)，镜体(1)内置空腔(1‑1)，压电扫描管(2)和压电步进马达(3)均安装在所述空腔(1‑1)内，压电步进马达(3)包括绝缘导轨(4)、滑杆(5)、弹簧片(6)以及圆球(7)，绝缘导轨(4)包括中空端(4‑1)和中空定位端(4‑2)，中空端(4‑1)的一端和中空定位端(4‑2)的一端一体成型，圆球(7)对称粘接在中空端(4‑1)的内部两侧，滑杆(5)安装在绝缘导轨(4)的中心、且与圆球(7)接触，滑杆(5)的两端分别从中空端(4‑1)的另一端以及中空定位端(4‑2)的另一端伸出，弹簧片(6)的一端与中空定位端(4‑2)的内侧粘接，弹簧片(6)的另一端与滑杆(5)接触，中空定位端(4‑2)的外侧与压电扫描管(2)的一端连接，压电扫描管(2)的另一端与空腔(1‑1)内的上端相连，空腔(1‑1)的下端设有样品支架(8)，滑杆(5)靠近样品支架(8)的这端设有探针插座(9)，探针插座(9)内安装探针(10)。
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