[发明专利]集成电路器件

摘要

本公开涉及集成电路器件。一种集成电路器件包括衬底，其包括器件有源区；鳍型有源区，其在器件有源区上从衬底突出；栅线，其交叉鳍型有源区并重叠鳍型有源区的表面和彼此相反的侧壁；绝缘间隔物，其设置在栅线的侧壁上；源极区和漏极区，其在栅线的彼此相反的侧设置在鳍型有源区上；第一导电插塞，其连接源极区或漏极区；以及封盖层，其设置在栅线上并平行于栅线延伸。封盖层包括重叠栅线的第一部分以及重叠绝缘间隔物的第二部分。第一部分和第二部分相对于彼此具有不同的成分。第二部分接触第一部分和第一导电插塞。

主权项

一种集成电路器件，包括：衬底，其包括器件有源区；鳍型有源区，其在所述器件有源区上在第一方向上从所述衬底突出；栅线，其交叉所述鳍型有源区，所述栅线重叠所述鳍型有源区的上表面和彼此相反的侧壁；绝缘间隔物，其设置在所述栅线的侧壁上；在所述栅线的第一侧设置在所述鳍型有源区上的第一源极/漏极区以及在所述栅线的第二侧设置在所述鳍型有源区上的第二源极/漏极区；第一导电插塞，其连接到所述第一源极/漏极区和所述第二源极/漏极区中的至少一个；以及封盖层，其设置在所述栅线上，所述封盖层平行于所述栅线延伸，其中所述封盖层包括重叠所述栅线并且平行于所述栅线延伸的第一部分、以及重叠所述绝缘间隔物的第二部分，其中所述第一部分和所述第二部分相对于彼此具有不同的成分，以及其中所述第二部分接触所述第一部分和所述第一导电插塞。