[发明专利]衬底研磨装置及方法有效
| 申请号： | 201710864886.8 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN108068004B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 裴俊佑;姜胜培 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底研磨装置及其方法。本发明的一实施例公开衬底研磨装置，包括：第一平面板，包含极性根据电磁信号而变化的第一端子；第二平面板，布置成与第一平面板对向，且能够以朝向第一平面板的第一方向为中心进行旋转；安置部，包含极性根据电磁信号而变化的第二端子，并结合于与第二平面板相向的第一平面板的一表面，且用于安置衬底；以及研磨部，结合于与安置部相向的第二平面板的一表面，其中，第一端子和第二端子被布置成以第一方向为基准而相互重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种衬底研磨装置，包括：第一平面板，包含极性根据电磁信号而变化的第一端子；第二平面板，布置成与所述第一平面板对向，且能够以朝向所述第一平面板的第一方向为中心进行旋转；安置部，包含极性根据电磁信号而变化的第二端子，并结合于与所述第二平面板相向的所述第一平面板的一表面，且用于安置基板；以及研磨部，结合于与所述安置部相向的所述第二平面板的一表面，其中，所述第一端子和所述第二端子被布置成以所述第一方向为基准而相互重叠。
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