[发明专利]一种低散射损耗的高反射薄膜有效
| 申请号： | 201710865078.3 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107748404B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 张锦龙;程鑫彬;焦宏飞;吴晗;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低散射损耗的高反射薄膜，包括由下而上依次设置的基板、第一薄膜、第二薄膜和第三薄膜，第一薄膜、第二薄膜和第三薄膜均由高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置构成，第一薄膜为1/4中心波长光学厚度的标准高反射薄膜结构，第二薄膜和第三薄膜均为全介质法珀腔薄膜结构，第一薄膜与基板接触的一侧为高折射率材料膜层H，第三薄膜与空气接触的一侧为高折射率材料膜层H，第一薄膜、第二薄膜和第三薄膜连接处高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置。与现有技术相比，本发明具有有效降低散射、材料选择范围广、制作成本低和易于推广等优点，在超高精度激光测量领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 散射 损耗 反射 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种低散射损耗的高反射薄膜，其特征在于，包括由下而上依次设置的基板(1)、第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)，所述第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)均由高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置构成，所述第一薄膜(2)为1/4中心波长光学厚度的标准高反射薄膜结构，所述第二薄膜(3)和第三薄膜(4)均为全介质法珀腔薄膜结构，所述第一薄膜(2)与所述基板(1)接触的一侧为高折射率材料膜层H，所述第三薄膜(4)与空气接触的一侧为高折射率材料膜层H，所述第一薄膜(2)与第二薄膜(3)连接处以及第二薄膜(3)与第三薄膜(4)连接处高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置；所述第一薄膜(2)的结构为(HL)n1H，n1≥15。
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