[发明专利]一种高精度标准气体动态混配系统及配比精度控制方法有效

专利信息
申请号: 201710866567.0 申请日: 2017-09-22
公开(公告)号: CN107597016B 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 袁士豪;何晖;李冬锋;包汉波;李剑锋;李晶晶 申请(专利权)人: 衢州杭氧特种气体有限公司;杭州杭氧股份有限公司;杭州制氧机研究所有限公司
主分类号: B01F15/04 分类号: B01F15/04;B01F15/00;B01F15/02;B01F13/06;G05D11/13
代理公司: 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 代理人: 翁霁明
地址: 324000 浙江省衢州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种高精度标准气体动态混配系统及配比精度控制方法,所述的系统由原料气输送、电气控制、DCS/PLC组态实时控制、抽真空系统四部分构成;所述的原料气输送部分包括:多个与集装汇流排储气装置连接的原料组分气输入端口、平衡气输入端口,原料组分气输入端口和平衡气输入端口分别相接各自的压力表和高纯气体过滤装置;所述电气控制和DCS/PLC组态实时控制部分包括设置在原料组分气输送管路上的组分气质量流量控制器、计量电子天平、DCS/PLC组态控制器以及输送管路上的气动隔膜阀,所述的组分气质量流量控制器反馈组分气流率信息,所述的DCS/PLC组态控制器连接压力传感器和温度传感器并作为信号反馈点,以组分气充装压力和充装质量作为模糊PID反馈控制输入参数;它适用于工业化标准气生产,具有配制精度相对误差小、标准气配制合格率高等特点。
搜索关键词: 一种 高精度 标准 气体 动态 系统 配比 精度 控制 方法
【主权项】:
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