[发明专利]硅片花篮慢提拉装置在审
| 申请号： | 201710867908.6 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107473133A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 陈宏 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | B66F7/22 | 分类号： | B66F7/22;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙)32304 | 代理人： | 马丽丽 |
| 地址： | 215618 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种硅片花篮慢提拉装置，包括一抬升装置，所述抬升装置包括水平抬升支架，所述水平抬升支架沿竖直方向移动，所述水平抬升支架顶面支撑有一活动支架，所述活动支架上表面支撑所述硅片花篮，所述活动支架与所述水平抬升支架之间固定安装有活动杆，所述活动杆对称设置于所述活动支架两侧，所述活动杆一端固定于所述活动支架侧面中部靠左或者靠右位置，另一端转动连接于所述水平抬升支架，所述硅片花篮轴向垂直于两所述活动杆连线方向。本发明的优点在于避免了相邻的两片硅片粘合在一起，这样抬升装置缓慢抬升的话保证了硅片表面水分较少，进入烘干槽后可以快速实现烘干。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 花篮 慢提拉 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片花篮慢提拉装置，其特征在于，包括一抬升装置，所述抬升装置包括水平抬升支架，所述水平抬升支架沿竖直方向移动，所述水平抬升支架顶面支撑有一活动支架，所述活动支架上表面支撑所述硅片花篮，所述活动支架与所述水平抬升支架之间固定安装有活动杆，所述活动杆对称设置于所述活动支架两侧，所述活动杆一端固定于所述活动支架侧面中部靠左或者靠右位置，另一端转动连接于所述水平抬升支架，所述硅片花篮轴向垂直于两所述活动杆连线方向，所述硅片花篮两侧底部分别向外凸伸设置有第一凸部件，所述活动支架两侧分别开设有配合所述第一凸部件的缺口。
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