[发明专利]一种基于光衍射的柔性透明碳电极制备方法

摘要

本发明属于微钠制造相关技术领域，其公开了基于光衍射的柔性透明碳电极制备方法，该方法包括以下步骤：(1)提供基底，并在所述基底上旋涂一层负性的光刻胶；(2)将掩膜设置在所述光刻胶上，并进行曝光处理，所述掩膜上设置有网格图形，所述网格图形呈矩形，其四个角部分别连接有大尺寸图形；(3)采用显影液对曝光后得到的样品进行显影后，再进行清洗以得到光刻胶悬浮网格；(4)将步骤(3)得到的样品在保护气体氛围下进行热解，并进行剥离以得到独立的整片碳网格结构，即柔性透明碳电极。本发明通过一次曝光即可获得光刻胶悬浮网格，工艺简单，参数容易控制，成品率较高。

主权项

1.一种基于光衍射的柔性透明碳电极制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)提供基底，并在所述基底上旋涂一层负性的光刻胶；(2)将掩膜设置在所述光刻胶上，并进行曝光处理，所述掩膜上设置有透明的网格图形，所述网格图形呈矩形，其四个角部分别连接有透明的第一图形，所述掩膜上未被所述网格图形及所述第一图形覆盖的区域为不透光区域；(3)采用显影液对曝光后得到的样品进行显影后，再进行清洗，所述网格图形及所述第一图形覆盖的光刻胶分别形成光刻胶悬浮网格及支撑结构，所述支撑结构连接所述光刻胶悬浮网格及所述基底；(4)将步骤(3)得到的样品在保护气体氛围下进行热解，所述光刻胶悬浮网格及所述支撑结构分别形成为碳网格结构及碳支撑结构，并将所述碳网格结构与所述碳支撑结构剥离分开，以得到独立的整片碳网格结构，即柔性透明碳电极。