[发明专利]一种安全程度高的OLED生产材料制备装置在审
申请号: | 201710868102.9 | 申请日: | 2017-09-22 |
公开(公告)号: | CN107808834A | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | 朱其军 | 申请(专利权)人: | 阜宁聚鸿新材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L51/56 |
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地址: | 224400 江苏省盐城*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种安全程度高的OLED生产材料制备装置,包括底座,所述底座顶部外壁轴接有主动轮和从动轮,且主动轮和从动轮外壁套接有同一个传送带,主动轮和从动轮位于同一水平面上,所述底座一侧外壁焊接有支架,且支架顶部外壁焊接有制备箱,且制备箱包括有铬和ITO图形制备区、绝缘层和隔离柱制备区、有机材料蒸镀区和封装区,绝缘层和隔离柱制备区、有机材料蒸镀区位于铬和ITO图形制备区和封装区之间。本发明通过设置制备的四大区,合并六大步骤中的相似步骤,简化生产过程,利用生产线形式,将制备装置作成一体化,可以从OLED基材到制成成品在装置一次完成,分部检测替代传统检测,便与检修,避免造成基材和材料浪费。 | ||
搜索关键词: | 一种 安全 程度 oled 生产 材料 制备 装置 | ||
【主权项】:
一种安全程度高的OLED生产材料制备装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)顶部外壁轴接有主动轮和从动轮,且主动轮和从动轮外壁套接有同一个传送带(2),主动轮和从动轮位于同一水平面上,所述底座(1)一侧外壁焊接有支架,且支架顶部外壁焊接有制备箱(19),且制备箱(19)包括有铬和ITO图形制备区、绝缘层和隔离柱制备区、有机材料蒸镀区和封装区,绝缘层和隔离柱制备区、有机材料蒸镀区位于铬和ITO图形制备区和封装区之间,铬和ITO图形制备区、绝缘层和隔离柱制备区、有机材料蒸镀区和封装区位于同一水平面上,所述铬和ITO图形制备区底部外壁焊通过螺钉固定有涂胶头(3)、曝光头(4)、显影仪(5)和刻蚀头(6),且曝光头(4)、显影仪(5)位于涂胶头(3)和刻蚀头(6)之间,涂胶头(3)、曝光头(4)、显影仪(5)和刻蚀头(6)处于同一水平面上,另一组所述涂胶头(3)、曝光头(4)和显影仪(5)通过螺钉固定在绝缘层和隔离柱制备区底部外壁上,且曝光头(4)位于涂胶头(3)和显影仪(5)之间,涂胶头(3)、曝光头(4)和显影仪(5)位于同一水平面上,所述有机材料蒸镀区底部外壁通过螺钉固定有电子注入模头(10)和注胶头(9),且电子注入模头(10)和注胶头(9)位于同一水平面上,所述制备箱(19)底部外壁焊接有第一检测头(7)、第二检测头(8)、第三检测头(11)和第四检测头(13),且第一检测头(7)位于铬和ITO图形制备区与绝缘层和隔离柱制备区之间,第二检测头(8)位于绝缘层和隔离柱制备区与有机材料蒸镀区之间,第三检测头(11)位于有机材料蒸镀区和封装区之间,所述制备箱(19)底部外壁远离有机材料蒸镀区一侧焊接有贴片机(12),且贴片机(12)位于第三检测头(11)和第四检测头(13)之间,所述底座(1)远离传送带(2)一侧外壁焊接有切割台(14),且切割台(14)顶部一侧外壁通过螺钉固定有烘干器(15),切割台(14)顶部外壁另一侧外壁焊接有输送带支架,所述烘干器(15)一侧外壁通过螺钉固定有电机(16),且电机(16)的输出轴套接有切割锯片(17),所述输送带支架顶部外壁轴接有第二主动轮和第二从动轮,且第二主动轮和第二从动轮外壁套接有同一个输送带(18)。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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