[发明专利]超声气体束装置有效

专利信息
申请号: 201710871975.5 申请日: 2017-09-25
公开(公告)号: CN107694478B 公开(公告)日: 2020-08-28
发明(设计)人: 魏宝仁;路迪;邹亚明 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: B01J3/00 分类号: B01J3/00
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于物理和化学实验技术领域,具体为一种超声气体束装置。该装置包括:五维可调气体喷嘴、三级差分光阑组、五级全钛真空腔室、涡轮分子泵和真空规管;其中,五维可调气体喷嘴处于真空腔室中,通过五维调节平台实现对喷嘴的X、Y、Z三维位置调节和X、Y方向角度调节,确保在喷气过程中使气体碰撞的静区与后续差分光阑位置匹配;五级全钛真空腔室是实现真空的主体。本发明将高压气体通过小孔向真空室中喷气,使气体在真空中自由膨胀,在喷嘴附近形成一个静区,用一个差分光阑从静区选取一束定向运动的气体束,然后再用两个差分光阑对气体束进行限束,进一步降低气体束的横向速度(即温度),最终在真空室中获得稳定的超声气体束。
搜索关键词: 超声 气体 束装
【主权项】:
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