[发明专利]一种喷嘴和涂布机在审
| 申请号： | 201710872498.4 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN107479329A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 梅澎 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种喷嘴，所述喷嘴包括第一壳体、第二壳体和多个探针；所述第一壳体和第二壳体围成一个腔体，多个所述探针垂直设置于所述腔体内，多个所述探针用于使光阻从多个所述探针的间隙中流出；所述第一壳体包括第一端，所述第二壳体包括第二端，所述第一端和第二端围成所述喷嘴的喷口，所述喷口与所述腔体贯通；所述第一端内侧包括滑动部，多个所述探针与滑动部连接并随滑动部在所述喷口内滑动。本发明还提供一种涂布机，所述涂布机包括上述喷嘴、连接喷嘴的光阻存储器及承载玻璃基板的承载台。本发明在喷嘴中设置了探针，探针所处的位置没有光阻吐出，达到了只涂布玻璃基板目标区域的目的，减少了生产中的成本浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷嘴 涂布机 | ||
【主权项】：
一种喷嘴，用于涂布光阻，其特征在于，所述喷嘴包括：第一壳体、第二壳体和多个探针；所述第一壳体和第二壳体围成一个腔体，多个所述探针垂直设置于所述腔体内，多个所述探针用于使光阻从多个所述探针的间隙中流出；所述第一壳体包括第一端，所述第二壳体包括第二端，所述第一端和第二端围成所述喷嘴的喷口，所述喷口与所述腔体贯通；所述第一端内侧包括滑动部，多个所述探针与滑动部连接并随滑动部在所述喷口内滑动。
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