[发明专利]基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器制备方法有效
| 申请号： | 201710873569.2 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN107703056B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 王卓然;袁国慧;管磊;彭芳草;彭真明 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 51268 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器制备方法，包括以下步骤：S1、清洗SOI样品；S2、将经过预处理的SOI样品放置在170～200℃的恒温箱中预烘2～5min；S3、采用旋涂的方式涂覆光刻胶；S4、将样品放置在170～200℃温度的恒温箱中烘10～15min；S5、对样品进行电子束曝光，电子束曝光图形为基于一维光子晶体的SOI微环谐振腔；S6、对曝光处理后的样品依次进行显影、定影；S7、采用ICP对样品进行刻蚀操作；S8、对刻蚀处理后的样品进行清洗。本发明制备方法制作的SOI微环光子生物传感器具有灵敏度高、探测极限小、易于集成等特性，有助于提升光学生物传感器的传感性能。本发明的制备方法对设备要求简单，工艺上容易实现。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光子 晶体 soi 生物 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、预处理，清洗SOI样品；S2、预烘，将经过预处理的SOI样品放置在170～200℃的恒温箱中预烘2～5min，再冷却至室温；S3、涂胶，采用旋涂的方式在预烘处理后的SOI样品上涂覆光刻胶；S4、后烘，将涂胶后的样品放置在170～200℃温度的恒温箱中烘10～15min，再冷却至室温；S5、曝光，对后烘处理后的样品进行电子束曝光，电子束曝光图形为基于一维光子晶体的SOI微环谐振腔；S6、显影、定影，对曝光处理后的样品依次进行显影、定影操作，再用IPA溶液进行清洗；S7、刻蚀，采用ICP对显影定影处理后的样品进行刻蚀操作；S8、后处理，对刻蚀处理后的样品进行二次清洗。
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