[发明专利]一种晶圆方向识别系统及晶圆传送盒

摘要

本发明公开了一种晶圆方向识别系统及晶圆传送盒，属于半导体制造技术领域，晶圆方向识别系统包括分别于晶圆传送盒的开口处设置于晶圆传送盒顶部和底部的发光装置、线阵图像传感器，发光装置于晶圆进入晶圆传送盒时发射线结构光，线阵图像传感器，扫描获取多个灰度值变化序列，灰度值变化序列的灰度值变化表示晶圆的边缘，再通过控制器处理多个灰度值变化序列得到晶圆轮廓图，进而获得晶圆的定位缺口的方向。上述技术方案的有益效果是：通过在晶圆传送盒设置晶圆方向识别系统，通过获取晶圆轮廓图的方式识别每一道工艺后晶圆的方向，方便工作人员在发现晶圆表面刮伤时及时找到问题工艺设备；另外通过获取晶圆轮廓图方便及时发现晶圆边缘缺陷。

主权项

1.一种晶圆方向识别系统，设置于晶圆传送盒内，所述晶圆传送盒的一侧设置有开口，晶圆从所述晶圆传送盒的开口处被装入所述晶圆传送盒内，其特征在于，所述晶圆方向识别系统包括：发光装置，于所述开口处设置于所述晶圆传送盒的底部，所述发光装置于晶圆进入所述晶圆传送盒时发射长度大于晶圆直径的线结构光；线阵图像传感器，正对于所述发光装置设置于所述晶圆传送盒的顶部，用于扫描获取多个灰度值变化序列，所述灰度值变化序列的灰度值变化表示晶圆的边缘；控制器，连接所述发光装置和所述线阵图像传感器，所述控制器用于控制所述发光装置的开闭；以及用于根据多个所述灰度值变化序列计算得到晶圆轮廓图，进而获得晶圆的定位缺口的方向；所述控制器还用于存储所述晶圆轮廓图以及将所述晶圆轮廓图发送至总工作站。