[发明专利]一种热敏电阻等离子喷涂贱金属铜双电极及其制备方法在审
申请号: | 201710876070.7 | 申请日: | 2017-09-25 |
公开(公告)号: | CN107863212A | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | 汪洋 | 申请(专利权)人: | 江苏时瑞电子科技有限公司 |
主分类号: | H01C1/14 | 分类号: | H01C1/14;H01C17/28 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 212434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于热敏电阻制备领域,具体涉及一种热敏电阻等离子喷涂贱金属/铜双电极及其制备方法。双电极包括1000‑2000nm厚度的贱金属层和3000‑4000厚度的铜金属层。制备方法将贱金属球磨处理得到纳米粉末;将基体放入直流电弧等离子体蒸发设备中,抽真空,充入氮气或氩气,在氮气或氩气回流中进行贱金属等离子喷溅处理,处理温度为1400‑1800℃,喷溅速度为1000‑2000m/s,得到1000‑2000nm厚度的贱金属层后降温至20℃,降温速度为200‑300℃/s,得到半成品基体;将纳米粉末换成铜,在氮气或氩气回流中将半成品基体进行铜等离子喷溅处理,得到热敏电阻等离子喷涂贱金属/铜双电极。本发明所得的热敏电阻等离子喷涂贱金属/铜双电极导电性能好、粘结性好,稳定性好,且制备工艺简单,成本低廉。 | ||
搜索关键词: | 一种 热敏电阻 等离子 喷涂 金属 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种热敏电阻等离子喷涂贱金属铜双电极,其特征在于,包括1000‑2000nm厚度的贱金属层和3000‑4000厚度的铜金属层。
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